炉管必须能够承受极端温度，同时保持结构的完整性和抗化学腐蚀性。常见的材料包括具有抗热震性的熔融石英、具有高温稳定性的氧化铝等陶瓷，以及用于腐蚀性环境的钨或钼等特种金属。每种材料都根据特定的热、机械和化学要求进行选择，以确保在从实验室研究到工业加工的各种应用中实现最佳性能。
要点说明：
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熔融石英
- 可承受高达 1200°C 的温度，具有优异的抗热震性。
- 热膨胀率低，非常适合需要快速加热/冷却循环的工艺。
- 化学惰性但脆性大，适用于非机械应力环境。
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陶瓷（如氧化铝、氧化锆）
- 氧化铝管的工作温度为 1600-1800°C，可在成本和性能之间取得平衡，适用于一般的高热应用。
- 氧化锆能在更高温度（2000°C 以上）下保持稳定，但成本较高，而且容易产生热裂纹。
- 用于 mpcvd 机器 对纯度和热稳定性要求极高的工艺。
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金属（钨/钼）
- 钨的耐受温度为 3400°C，但容易氧化；需要惰性气氛。
- 钼（2600°C）的抗氧化性高于钨，但低于陶瓷。
- 两者都可用于腐蚀性材料的加热，通常内衬保护涂层。
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特种玻璃（Pyrex/硼硅酸盐）
- 耐热范围较低（约 500°C），但在中等热量应用中具有成本效益。
- 用于不需要极端条件的教育或原型实验室。
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材料选择标准
- 温度范围:使材料限制与操作需求相匹配（例如，钨用于超高温）。
- 耐化学性:金属用于腐蚀性负载；石英/陶瓷用于活性气体。
- 导热性:金属能均匀散热，陶瓷能隔热。
- 机械应力:陶瓷可承受振动；石英可避免机械应变。
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新兴趋势
- 复合管（如碳化硅涂层石墨）兼具导电性和耐用性。
- 水冷设计（如不锈钢套）延长了循环加热管的使用寿命。
这些材料悄无声息地推动了半导体制造、冶金和航空航天领域的进步--在这些领域，精确的热管理是创新的基础。
汇总表：
| 材料 | 最高温度 | 主要优势 | 常见应用 |
|---|---|---|---|
| 熔融石英 | 1200°C | 抗热震、低膨胀 | 快速加热/冷却循环 |
| 氧化铝陶瓷 | 1600-1800°C | 经济、稳定 | 一般高热工艺 |
| 氧化锆陶瓷 | 2000°C+ | 超高温度稳定性 | MPCVD 机器、航空航天 |
| 钨 | 3400°C | 耐极端高温 | 腐蚀性环境（惰性大气） |
| 钼 | 2600°C | 抗氧化 | 工业加热 |
| 硼硅玻璃 | ~500°C | 成本效益高，热量适中 | 教育实验室、原型设计 |
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