管式炉的精确温度控制是通过先进的加热元件、多区配置、耐用结构和可编程控制器的组合来实现的。主要特点包括高温能力(高达 1800°C)、均匀的加热分布和可选的气氛控制(如真空或惰性气体)。滑动管设计、可降低表面温度的双层外壳以及可实现精确梯度的数字控制器,都增强了设备的安全性和可用性。这些特点确保了材料加工、化学反应和研究等应用的可靠性。
要点说明:
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先进的加热元件
- Kanthal、SiC 或 MoSi2 等材料的最高温度可达 1200-1800°C。
- 间接(热气放电)或直接燃烧方法可满足不同的加热需求。
- 例如旋转管式炉采用多区加热,以实现精确的温度梯度。
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多区温度控制
- 单区或多区配置允许定制加热曲线。
- 可编程数字控制器(最多三个区域)可确保精确度,尤其是在较大的热区(如 600-900 毫米)。
- 均匀的分布可最大限度地减少热点,这对于退火或 气氛甑式炉 .
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可编程和自动化系统
- 完全可编程面板支持高精度设定点和斜率。
- 软件兼容性可为研发工作提供数据记录和可重复性。
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气氛和真空控制
- 气体混合系统(如氮气、氩气)或真空(低至 10^-5 托)可防止氧化或实现反应环境。
- 端盖和密封件可保持精确的大气条件。
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安全和可用性特点
- 双层外壳,即使内部温度高达 800°C,也能保持较低的表面温度(~30°C)。
- 滑动管设计便于快速冷却和轻松处理样品。
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耐用的结构
- 不锈钢机身和耐热材料可确保在极端条件下的使用寿命。
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特定应用定制
- 可调管径(50-120 毫米)和热区可满足从半导体加工到化学气相沉积的各种需求。
这些功能共同确保了精度、安全性和适应性,使管式炉成为实验室和工业环境中不可或缺的设备。
汇总表:
功能 | 说明 |
---|---|
加热元件 | Kanthal、SiC 或 MoSi2 加热元件,适用于高温(1200-1800°C)和多功能应用。 |
多区控制 | 可编程数字控制器,用于定制加热曲线。 |
气氛控制 | 真空或惰性气体选项可防止氧化或实现反应过程。 |
安全性和可用性 | 双层外壳、滑动管设计和低表面温度。 |
耐用结构 | 不锈钢炉体和耐热材料,经久耐用。 |
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