简而言之，PVD通常能生产出更纯净、更致密、附着力更好的薄膜，而CVD则擅长在复杂的非平面表面上形成高度均匀（共形）的涂层。这两种方法都没有绝对的优越性；“更好”的质量完全取决于您的具体应用要求，主要是部件的几何形状和所需的薄膜特性。
核心区别在于工艺本身：PVD是一种物理的、视线传播的工艺，类似于喷漆，可获得高纯度。CVD是一种化学的、气相的工艺，就像烤蛋糕一样，可以实现无处不在的卓越覆盖。理解这一区别是选择正确方法的关键。
基本工艺：物理法与化学法
薄膜质量的差异并非偶然；它们是每种沉积方法在分子层面工作方式的直接结果。
PVD：“视线传播”的物理过程
物理气相沉积（PVD）在高真空中操作。固体源材料被蒸发（例如，通过溅射或蒸发），这些原子或分子沿直线移动并凝结到基底上。
这种物理的、非反应性的过程是PVD擅长制造异常纯净薄膜的原因。腔室中很少有其他气体分子会被困在生长的薄膜中。
CVD：气相化学反应
化学气相沉积（CVD）涉及将前驱体气体引入反应腔。这些气体在基底的热表面上反应，形成所需的固体薄膜和挥发性副产物，然后被泵走。
因为它依赖于充满整个腔室的气体，CVD可以为复杂部件的所有表面涂覆高度均匀的厚度。
比较关键薄膜质量指标
每种工艺都生产出具有独特优势和劣势特点的薄膜。
纯度和密度
PVD通常生产出更纯净、更致密的薄膜。高真空环境最大限度地减少了污染物或副产物气体混入薄膜中的可能性，从而提高了材料纯度。
CVD薄膜的纯度可能较低，因为前驱体化学物质可能无法完全反应，或者化学副产物可能被困在薄膜结构中。
共形性和覆盖度
CVD在共形性方面是无可争议的领导者。前驱体气体可以扩散到复杂的特征、沟槽和内部表面并发生反应，从而在各处形成厚度均匀的薄膜。
PVD是一种视线传播的工艺，难以处理复杂的几何形状。不直接面向源材料的表面将几乎没有涂层，产生“阴影”效应。
附着力
PVD通常能产生卓越的附着力。在许多PVD工艺（如溅射）中，沉积原子以高动能到达基底，这有助于它们与表面形成牢固的混合键。
虽然CVD的附着力通常也很好，但它依赖于在表面形成的化学键，有时可能不如PVD的能量注入那么坚固。
理解权衡
选择很少是关于单一质量指标的，而是在工艺限制和期望结果之间取得平衡。
温度困境
传统CVD需要非常高的温度（通常>600°C）来驱动必要的化学反应。这可能导致热应力、晶格失配，并损坏对温度敏感的基底，如聚合物或某些电子元件。
PVD工艺通常在低得多的温度下运行，使其适用于更广泛的基底材料。
解决方案：等离子体增强CVD (PECVD)
为了克服CVD的温度限制，开发了等离子体增强CVD (PECVD)。它使用电场来产生等离子体，这是一种电离气体。
这种等离子体提供了能量，使得化学反应在低得多的温度（通常为200-400°C）下进行。PECVD生产的薄膜具有良好的共形性和更少的针孔，同时减少了热应力，使其成为电子产品和热敏感应用的理想选择。
工艺复杂性和安全性
PVD在概念上是一种更简单的物理过程，化学危害较少。其主要变量是沉积速率、时间和基底温度。
CVD是一种更复杂的化学过程，需要精确控制气体流量、浓度、腔室压力和温度。它通常涉及挥发性且有时具有危险性的前驱体化学品。
为您的目标做出正确选择
选择其优势与您的不可协商要求相符的技术。
- 如果您的主要关注点是在相对平坦的表面上获得极致纯度：PVD是卓越的选择，因为它能产生清洁、致密且高度附着的薄膜，非常适合光学和电子产品。
- 如果您的主要关注点是在复杂3D部件上获得均匀涂层：CVD卓越的共形性对于确保所有表面的完整和均匀覆盖是必要的。
- 如果您的主要关注点是在温度敏感基底上进行共形涂层：PECVD是最佳解决方案，它结合了CVD的覆盖优势和PVD的低温优势。
最终，选择这些强大技术中的哪一种，首先要清楚地了解您的应用独特的几何和材料需求。
总结表：
| 指标 | PVD | CVD |
|---|---|---|
| 纯度 | 高 | 较低 |
| 密度 | 高 | 可变 |
| 附着力 | 卓越 | 良好 |
| 共形性 | 差（视线传播） | 优秀（均匀覆盖） |
| 温度 | 低 | 高（PECVD可用于较低温度） |
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