上述 CVD 系统兼容两种标准尺寸的石英管：2 英寸（约 50.8 毫米）和 1 英寸（25.4 毫米）直径。此外，还有一种 70 毫米管炉变体，适用于需要较小样品处理的特殊应用。这些尺寸可满足不同的实验或工业需求，同时兼顾材料吞吐量和精度。系统还集成了用于 PECVD 等工艺的气体流量控制（0-500 sccm），确保了半导体、太阳能和生物医学应用的适应性。
要点说明：
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主要石英管尺寸
- 2 英寸（50.8 毫米）:适用于大规模工艺，如半导体晶片涂层或块状材料合成。
- 1 英寸（25.4 毫米）:适用于需要更精细控制的精密应用，如微电子机械装置或小批量研究。
- 这些尺寸的兼容性确保了工业和实验室规模工作流程的灵活性。
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70 毫米专用管选项
- 石英管炉 石英管炉 内径 70 毫米的石英管炉可容纳较小的样品（如薄膜或纳米材料），为光学涂层或生物医学研究等特殊应用提供高效率。
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系统多功能性
- 这些管径可与 PECVD 和其他 CVD 工艺集成，并由气体流量系统（Ar/H₂，0-500 sccm）提供支持，以实现精确的反应控制。
- 其应用范围涵盖太阳能电池、微电子和阻隔涂层，其中管直径会影响沉积均匀性和材料特性。
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采购商的考虑因素
- 吞吐量与精度:较大的导管（2 英寸）适合大批量生产，而 1 英寸或 70 毫米导管则适合对细节敏感的任务。
- 气体兼容性:确保管道尺寸与气体流速一致，以保持工艺稳定性（例如，避免在较窄的管道中产生湍流）。
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面向未来
- 模块化设计可实现试管交换；如果预计要在不同尺寸之间进行扩展，则需验证系统规格的适应性。
这些选项反映了标准化和定制化之间的平衡，对于使设备适应不断变化的研发或制造需求至关重要。
汇总表：
| 石英管尺寸 | 直径（毫米） | 最适合 |
|---|---|---|
| 2 英寸 | 50.8 | 大型工艺（半导体晶片、块状材料合成） |
| 1 英寸 | 25.4 | 精密应用（微机电系统设备、小批量研究） |
| 70 毫米 | 70 | 特殊应用（薄膜、纳米材料、光学镀膜） |
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