3 区管式炉可容纳最大 60 毫米（约 2 英寸）的样品，因此适用于退火和化学气相沉积等各种热加工应用。该炉结构紧凑但用途广泛，工作温度低于 1000°C，具有气体输送歧管等功能，可用于可控气氛处理。其设计优先考虑灵活性，同时保持三个独立加热区的精确温度控制。
要点说明：
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最大样本容量
- 3 区管式炉 3 区管式炉 支持最大至 60 毫米（2 英寸） 直径或长度（取决于方向）。
- 这种尺寸适合用于退火、烧结或 CVD 工艺的普通实验室级材料，而不会影响温度均匀性。
- 购买者注意事项 :请确认您的样品架/坩埚是否符合此尺寸，并考虑到加热时的热膨胀。
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设计兼容性
- 熔炉的管状炉腔（通常为陶瓷纤维或金属合金）已针对此样品范围进行了优化，以确保高效传热。
- 较大的样品可能会阻碍气体流动，或在三个区域内吸热不均，从而影响制程的一致性。
- 实用提示 :对于形状不规则的样品，确保最长尺寸不超过 60 毫米，以避免与加热元件接触。
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温度和气氛灵活性
- 在某些配置中，窑炉的最高温度可达 1700°C，但 60 毫米的样品限制适用于其标准的 <1000°C 的退火/气相沉积操作范围。
- 附带的气体歧管允许使用惰性或活性气氛，这对于在此尺寸限制内使用对氧化敏感的材料至关重要。
- 权衡说明 :由于样品架的热膨胀，较高的温度可能会减少有效的工作空间。
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比较优势
- 60 毫米的容量兼顾了产量和精度，是研发或小批量生产的理想选择。
- 更大的样品需要更大的炉子，这就牺牲了实现梯度工艺的三区独立温度控制。
- 维护 :定期校准可确保性能稳定，尤其是在处理尺寸上限的样品时。
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安全和后处理
- 接近 60 毫米的样品可能需要在干燥器中冷却更长时间，以防止热冲击。
- 真空兼容性（通过机械泵/扩散泵）支持敏感材料的无污染冷却。
对于购买者来说，在选择坩埚或舟子等兼容附件时，这种尺寸规格至关重要。在这一限制条件下，您的典型工作流程是更受益于多个较小的样品，还是更受益于较少的较大样品？窑炉的模块化设计可以满足不同的需求，同时保持严格的过程控制。
汇总表：
| 功能 | 规格 |
|---|---|
| 最大样品尺寸 | 60 毫米（2 英寸） |
| 温度范围 | 最高 1000°C（标准） |
| 加热区 | 3 个独立区域 |
| 大气控制 | 包括气体输送歧管 |
| 主要应用 | 退火、CVD、烧结 |
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