保持连续真空是不可谈判的，因为破坏真空会使敏感的钛基阻挡层暴露在大气中。这种暴露会导致阻挡层表面立即发生不受控制的氧化，从而严重损害非晶硅 (a-Si) 保护层应用之前的界面的清洁度和化学稳定性。
通过在真空下操作，可以防止氧气污染阻挡层。这种“原位”工艺可确保界面完好无损，这是阻挡层有效抵抗铝浆侵蚀所必需的。
界面控制的关键性
要理解为什么不能破坏真空，就必须超越沉积本身，审视所涉及材料的化学敏感性。
防止不受控制的氧化
钛基阻挡层对氧气具有高度反应性。
如果破坏真空，阻挡层将立即暴露在空气中。这会导致阻挡层表面迅速形成氧化层。这种氧化是不可控的，会产生化学杂质，从而降低材料的性能。
确保界面完好无损
阻挡层与后续的 a-Si 层之间的连接决定了堆栈的完整性。
原位（不破坏真空）沉积 a-Si 层可确保 a-Si 直接与新的阻挡层材料结合。这可以防止污染物或氧化层被困在两个功能层之间。
对器件的性能影响
沉积方法直接决定了最终组件的机械和化学耐用性。
抗铝侵蚀性
阻挡层的主要功能是阻止铝 (Al) 浆料侵蚀下层材料。
如果由于真空中断导致的氧化而损害了界面，阻挡层抵抗这种侵蚀的能力就会减弱。连续真空可确保阻挡层保持抵抗侵蚀性铝浆所需的结构完整性。
界面清洁度
清洁的界面是器件可靠性的基础。
空气暴露引入的任何杂质都可能产生薄弱点。这些薄弱点可能导致分层或在应力下失效，从而使保护堆栈失效。
要避免的常见陷阱
虽然保持真空对制造过程增加了限制，但替代方案会带来不可接受的风险。
工艺中断的风险
认为阻挡层在空气暴露后可以“清洁”是一种误解。
一旦钛基层氧化，就界面质量而言，损坏基本上是永久性的。在真空中断后尝试恢复沉积将导致多层堆栈缺陷。
设备配置
这一要求需要特定的设备能力。
溅射系统必须能够进行顺序沉积。如果设备需要在步骤之间进行排气，则不适合制造这种成分的高可靠性阻挡层堆栈。
为您的工艺做出正确的选择
为确保阻挡层的耐用性和有效性，请遵循以下原则：
- 如果您的主要关注点是抗侵蚀性：确保您的溅射工艺完全是原位的，以防止形成抵抗铝浆的薄弱氧化层。
- 如果您的主要关注点是工艺良率：消除任何需要在阻挡层和保护层沉积之间排空腔室的步骤，以最大限度地降低缺陷率。
控制真空，就能控制整个保护堆栈的完整性。
总结表：
| 特性 | 原位沉积（不破坏真空） | 异位沉积（破坏真空） |
|---|---|---|
| 界面质量 | 完好无损且化学稳定 | 被不可控的氧化物污染 |
| 阻挡层完整性 | 最大化；抵抗铝浆侵蚀 | 减弱；易发生化学失效 |
| 材料结合 | 牢固的直接结合（a-Si 与阻挡层） | 杂质之间存在薄弱结合 |
| 器件可靠性 | 高；分层风险最小 | 低；高缺陷形成概率 |
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