高温退火是决定性的后处理步骤，它将原始的石墨烯浆料转化为功能性、高性能的阴极。对于丝网印刷的石墨烯，该工艺利用马弗炉创建一个受控的热环境——通常在 240°C 至 350°C 之间——以烧掉非导电的有机粘合剂，并建立可靠运行所需的电机械性能。
马弗炉的主要作用不仅仅是干燥，更是净化和结构固化。通过热降解有机残留物，退火消除了电弧和高电阻的根本原因，确保阴极足够稳定以进行场发射。
提高导电性
丝网印刷工艺需要粘稠的浆料，这是通过将石墨烯与有机粘合剂和表面活性剂混合而成的。虽然这些添加剂对于印刷是必需的，但它们对电性能有害。
去除绝缘屏障
在其原始状态下，包裹石墨烯的有机粘合剂充当电绝缘体。
退火将这些有机物烧掉，有效地“清洁”了石墨烯网络。这恢复了材料原有的导电性，而这种导电性之前被浆料配方所抑制。
最小化接触电阻
为了有效工作，电子必须能够从基板（或缓冲层）自由流向石墨烯发射体。
高温处理显著降低了该界面的接触电阻。它确保了电子传输的直接、低电阻通路，这对于高效场发射至关重要。
确保运行稳定性
除了导电性，阴极的物理完整性也至关重要。马弗炉固化了结构，使其能够承受运行的严苛考验。
增加粘合强度
丝网印刷层可能很脆弱，如果没有经过适当处理，容易分层。
炉子提供的热能促进了多层石墨烯与下方基板之间的牢固粘附。这种机械粘合可以防止阴极材料在处理或运行过程中脱落。
防止场发射失效
退火最关键的功能之一是防止“释气”。
如果阴极中残留有机物，它们会在场发射器件的真空环境中释放气体分子。这种释气经常导致电弧，从而可能永久损坏阴极。退火在器件密封之前就消除了这些残留物。
理解限制
虽然退火是必不可少的，但它需要严格的参数控制，以避免收益递减。
温度窗口
该工艺依赖于特定的温度范围（240°C 至 350°C）是有原因的。
温度必须足够高，才能完全分解浆料中使用的特定粘合剂。然而，如果温度过低，残留物会留下，存在稳定性风险。反之，过高的温度（超出主要窗口）可能会损坏敏感基板或氧化石墨烯，如果气氛控制不完美的话。
为您的目标做出正确选择
为了最大限度地提高丝网印刷阴极的性能，请根据您的主要性能指标来调整您的重点：
- 如果您的主要重点是器件寿命：优先考虑烧掉过程的完整性，以消除所有有机残留物，防止释气和电弧。
- 如果您的主要重点是发射效率：专注于最大化粘合强度和降低接触电阻，以降低电子发射所需的开启电压。
精心校准的退火周期是导电浆料和坚固、高稳定性电子发射体之间的区别。
总结表：
| 方面 | 工艺影响 | 对阴极的益处 |
|---|---|---|
| 电学 | 去除有机粘合剂/绝缘体 | 恢复固有导电性并降低电阻 |
| 机械 | 增加粘合强度 | 防止分层并确保基板附着力 |
| 稳定性 | 消除释气残留物 | 防止电弧和器件故障 |
| 效率 | 优化界面接触 | 降低场发射的开启电压 |
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