PECVD（等离子体增强化学气相沉积）系统在沉积 PERC（钝化发射极和背面电池）太阳能电池的钝化层方面发挥着至关重要的作用。这些钝化层可减少重组损耗并改善光吸收，从而提高电池效率。该系统只需一次设置，就能分别在背面和正面沉积氧化铝（AlOx）和氮化硅（SiNx:H）层。等离子活化可实现较低的加工温度，确保均匀的薄膜特性和高纯度。这使得 PECVD 成为现代太阳能电池制造不可或缺的技术，集灵活性、精确性和可扩展性于一身。
要点说明：
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PECVD 在 PERC 太阳能电池中的作用
- PECVD 用于在 PERC 太阳能电池的两面沉积介电钝化层。
- 背面采用薄薄的 AlOx 层，上面覆有 SiNx:H，而正面则使用 SiNx:H 进行钝化和抗反射涂层 (ARC)。
- 这些层可最大限度地减少电子-空穴重组，增强光捕获，从而提高效率。
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关键材料及其功能
- 氧化铝 (AlOx):由于其固定负电荷较高，可提供出色的表面钝化效果，减少背面的重组。
- 氮化硅（SiNx:H）:用作缺陷钝化的氢源，并用作减少反射损耗的 ARC。
- 等离子体增强化学气相沉积系统 等离子体增强化学气相沉积系统 可在一个腔室中对两种材料进行连续沉积，从而提高产量。
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PECVD 相对于传统 CVD 的优势
- 更低的加工温度:等离子活化可降低沉积温度（通常低于 400°C），这对热敏基底至关重要。
- 提高沉积速度:等离子体中的高能电子可加速化学反应，从而加快薄膜的生长速度。
- 均匀性和纯度:专有的反应器设计确保气体分布一致，杂质最少，这对高性能太阳能电池至关重要。
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等离子活化机制
- 等离子体通过射频、交流或直流放电产生，电离气体分子以产生活性物质。
- 这种能量可驱动沉积反应，而无需完全依赖基底加热，从而保持了材料的完整性。
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系统灵活性和可扩展性
- PECVD 可处理各种材料（氧化物、氮化物、聚合物），因此适用于各种太阳能电池结构。
- 它的模块化设计支持大规模生产，符合高通量太阳能制造的工业需求。
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与其他技术的比较
- 与热 CVD 不同，PECVD 可避免高温降解，这与真空蒸馏保护热敏化合物的原理类似。
- 该工艺的精度超过溅射或蒸发，可确保最佳的薄膜密度和附着力。
通过集成这些功能，PECVD 系统解决了 PERC 太阳能电池制造的核心难题：效率、成本和可扩展性。您是否考虑过等离子体技术的进步如何进一步完善这些钝化层？这些创新将继续塑造可再生能源的未来。
总表：
| 方面 | 详细信息 |
|---|---|
| 关键材料 | AlOx（后钝化）、SiNx:H（前钝化和 ARC） |
| 等离子优势 | 低温加工（<400°C）、薄膜均匀、纯度高 |
| 系统灵活性 | 单室顺序沉积，可扩展用于工业生产 |
| 性能影响 | 降低重组损耗，改善光捕获，提高电池效率 |
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