立式管式炉是专门为研究和工业应用中精确、均匀的热处理而设计的加热系统。其垂直方向、可定制的配置和先进的控制系统使其成为需要可控气氛、高温和稳定热分布的工艺的理想选择。它们的主要特点包括温度范围高达 1800°C、结构耐用、与真空或气体环境兼容,可满足材料合成和化学气相沉积等各种应用的需要。
要点说明:
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垂直方向
- 窑炉的垂直设计最大限度地减少了占地面积,并可在重力辅助下装载/卸载样品。
- 这种方向对于涉及气体流动或气相沉积的过程特别有用,因为它可以促进气体的均匀分布并降低污染风险。
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温度范围和加热元件
- 最高温度可达 1200°C 至 1800°C,通过 Kanthal(低温范围)、SiC 或 MoSi2(高温范围)等加热元件实现。
- 多区配置可沿管长度方向实现精确的梯度控制,这对于晶体生长或退火等应用至关重要。
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均匀加热和传热
- 加热元件环绕管子,确保热量均匀分布。反射隔热材料可增强这种效果。
- 与卧式炉相比,立式炉由于减少了对流驱动的热点,因此温度均匀性通常更好。
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可定制的尺寸
- 标准管径从 50 毫米到 120 毫米不等,热区为 300 毫米或 600 毫米(可扩展至 900 毫米)。
- 定制长度和直径适用于较大的样品或批量加工,例如在 气氛甑式炉 用于控制环境热处理。
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气氛控制
- 通过密封端盖支持真空(低至 10^-5 托)或气体环境(如氮气、氩气)。
- 气体混合系统可实现精确的大气成分,这对氧化/还原研究或 CVD 至关重要。
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耐用的结构
- 不锈钢外壳和氧化铝或石英管确保了产品的使用寿命和抗热应力能力。
- 紧凑的台式设计可轻松集成到实验室工作流程中,而不会影响坚固性。
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先进的控制系统
- 具有软件兼容性的可编程控制器可实现自动升温、保温和数据记录。
- PID 调节等功能可最大限度地减少温度波动(典型值为 ±1°C)。
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应用
- 是材料合成(如纳米管)、热解和半导体加工的理想选择。
- 垂直取向有利于尽量减少颗粒沉降或气相反应的工艺。
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能源效率
- 感应加热变体(如适用)通过直接加热管和样品来减少热损失,从而提高能源利用率。
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安全性和兼容性
- 带快速释放装置的端盖便于安全处理样品。
- 水冷法兰等选件提高了高温操作的安全性。
这些特点使立式管式炉成为高精度热处理的多功能工具,在性能和适应性之间取得平衡,以满足不同的实验需求。
汇总表:
特征 | 详细信息 |
---|---|
方向 | 垂直设计,节省空间,气体分布均匀。 |
温度范围 | 1200°C 至 1800°C,具有多区梯度控制功能。 |
加热元件 | Kanthal、SiC 或 MoSi2,可实现最佳性能。 |
均匀加热 | 利用反射隔热材料均匀分布热量。 |
可定制尺寸 | 管径(50 毫米-120 毫米)和热区(300 毫米-900 毫米)。 |
气氛控制 | 支持真空(10^-5 托)或气体环境(N₂、Ar)。 |
耐用结构 | 不锈钢外壁,氧化铝/石英管。 |
控制系统 | 可编程 PID 控制器(精度 ±1°C)。 |
应用 | 材料合成、CVD、热解和半导体加工。 |
能源效率 | 感应加热可减少热损失。 |
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