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了解PECVD如何利用等离子体在低温下沉积薄膜，非常适合半导体和热敏材料。学习其工艺和优势。
了解等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 如何利用等离子体能量在低温下沉积薄膜，从而实现对热敏基材的涂覆。
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了解管式炉如何实现均匀加热、受控气氛和精确升温，以满足工业中烧结、退火和材料合成的需求。
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