真空炉中的真空系统是一个关键部件，可确保排除空气和其他气体，为高温过程创造受控环境。它通常由真空阀、机械泵、扩散泵和罗茨泵组成，根据所需的真空度进行选择。可达到的最大真空度通常为 7×10-3 Pa，但也会因具体的系统配置和应用而有所不同。该系统还包括用于可编程斜坡、真空设定点和气体回充的先进控制装置，可确保精确操作。
要点说明：
-
真空系统的组成部分:
- 真空阀:控制气体流量并隔离系统各部分。
- 机械泵:通过抽除大量气体提供初始粗真空。
- 扩散泵:通过汽化油来捕获气体分子，从而达到更高的真空度。
- 罗茨泵:提高抽气速度和效率，通常与机械泵结合使用。
- 这些组件共同作用，创造并维持所需的真空环境。
-
可达到的真空度:
- 系统最大真空度可达 7×10-3 Pa ，适用于化学气相沉积和贵金属熔化等高精度过程。
- 真空度对于要求污染最小的工艺至关重要，例如 真空清洁炉 操作。
-
测温能力:
- 真空炉的温度范围很广，从 1000°C 到 2000°C（取决于系列和设计）。
- 温度均匀性保持在 +/- 5°C 以内，确保热处理和其他工艺的结果一致。
-
控制和自动化:
- 系统配有 彩色触摸屏操作界面 配有 PLC，用于可编程斜坡、真空设定点和气体回填。
- 高级功能包括数据记录、过温控制和安全紧急停止。
-
应用:
- 真空炉用于特殊工艺，如 化学气相沉积、石墨化和感应熔化。 .
- 它们对加工金属和陶瓷至关重要，可确保高纯度和高精度。
-
与马弗炉的比较:
- 马弗炉适用于一般高温应用（最高温度可达 1200°C 或专用炉型可达 3000°C），而真空炉则可为要求更高的制程提供受控的无污染环境。
通过了解这些组件和功能，购买者可以选择适合其特定需求的真空炉系统，确保最佳性能和效率。
汇总表：
| 组件 | 功能 | 可达到的真空度 |
|---|---|---|
| 真空阀 | 控制气体流量并隔离系统各部分 | 高达 7×10-³ Pa |
| 机械泵 | 通过抽除大量气体提供初始粗真空 | 取决于泵的类型 |
| 扩散泵 | 通过汽化油来捕获气体分子，从而获得更高的真空度 | 高达 7×10-³ Pa |
| 罗茨泵 | 提高泵送速度和效率，通常与机械泵搭配使用 | 取决于系统设计 |
| 温度范围 | 1000°C 至 2000°C，均匀度在 +/- 5°C 范围内 | 不适用 |
| 控制功能 | 可编程斜坡、真空设定点、气体回填、数据记录、安全 | 不适用 |
使用 KINTEK 的精密真空解决方案升级您的实验室！ 我们先进的真空炉配备了扩散泵和罗茨泵等高性能组件，可确保为 CVD 和金属熔炼等关键过程提供超低污染环境。凭借可定制的系统和 PLC 控制接口，我们可根据您的需求提供可靠性和精确性。 立即联系我们 讨论您的需求，了解 KINTEK 如何提升您的高温应用！
