真空钎焊依靠专门的泵来创造和维持无氧化接合金属和陶瓷所需的高真空环境。该工艺通常结合使用机械泵（如旋片泵或螺杆泵）进行初始抽真空，然后使用高真空泵（如油扩散泵或涡轮分子泵）达到必要的压力水平。这些系统可确保填充金属流动的最佳条件，以及从航空航天部件到医疗设备等各种应用中牢固、清洁的接头。
要点说明：
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初级真空泵（粗加工阶段）
- 旋片泵:这些泵常用于初始排空，可将压力从大气水平降至 10^-2 毫巴左右。这些泵坚固耐用，成本效益高，可用于清除散装气体。
- 螺旋泵:提供干式（无油）操作，降低污染风险。非常适合需要清洁环境的应用，如医疗或半导体钎焊。
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高真空泵
- 罗茨泵（增压泵）:与主泵配用可提高抽真空速度并达到中等真空度（~10^-3 毫巴）。它们是粗加工和高真空阶段之间的桥梁。
- 油扩散泵:利用加热的油蒸汽喷射产生高真空（10^-6 至 10^-8 毫巴）。需要机械泵的支持，适用于大容量熔炉。
- 涡轮分子泵:使用高速转子实现超高真空（10^-9 毫巴）。比油扩散泵更清洁，但更昂贵，常用于航空航天等精密行业。
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系统集成
- 多级泵组合可在效率和成本之间取得平衡。例如，旋片泵（粗抽）+罗茨泵（中抽）+油扩散泵（高真空）。
- 现代系统可集成 真空热压机 同时控制压力和温度的技术，可提高接缝密度和强度。
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材料考虑因素
- 泵的选择取决于钎焊材料（例如，钛需要超高真空以防止氧化）。
- 干泵（螺杆泵/涡轮分子泵）适用于活性金属或陶瓷，以避免油污染。
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运行因素
- 维护：油泵需要定期更换液体；干泵可减少停机时间。
- 能源效率：在持续高真空条件下，涡轮分子泵比扩散泵消耗更少的能量。
通过了解这些泵的类型及其作用，采购人员可以根据特定的钎焊需求定制系统，无论是优先考虑清洁度、速度还是极限真空度。正确的设置可确保先进材料焊接的可重复质量。
汇总表：
| 泵类型 | 功能 | 压力范围 | 最适合 |
|---|---|---|---|
| 旋片泵 | 初始排空（粗加工） | 10^-2 毫巴 | 经济高效的散装气体输送 |
| 螺杆泵 | 干式无油粗加工 | 10^-2 毫巴 | 洁净环境（医疗、半导体） |
| 罗茨泵 | 中间真空增压 | 10^-3 毫巴 | 级间排空更快 |
| 油扩散泵 | 产生高真空 | 10^-6 至 10^-8 毫巴 | 大容量炉 |
| 涡轮分子泵 | 超高真空 | 10^-9 毫巴 | 精密工业（航空航天） |
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