脉冲直流 (DC) 偏压控制在离子刻蚀阶段充当主要的能量驱动器，其具体功能是以高动能加速氩离子轰击工件表面。这种受控的轰击物理性地剥离残留的氧化皮，同时激活工具钢基材的原子能级，为其准备涂层。
核心要点：脉冲直流偏压的应用是连接原材料基材和可涂层表面的桥梁。它将钢材从被动状态转变为“高活性”环境，这是后续铬结合层牢固附着的绝对先决条件。
离子刻蚀的机制
驱动氩离子
脉冲直流偏压的基本功能是充当加速器。通过施加特定的电气参数——例如650 V，240 KHz——系统迫使氩离子以显著的力撞击目标表面。
没有这种偏压，离子将缺乏有效撞击表面的定向能量。
物理去污
这种高能撞击的主要物理结果是去除表面污染物。轰击有效地清除可能已在工具钢上形成的残留氧化皮。
这确保了基材是纯金属的，并且没有可能阻碍附着的阻挡层。
表面活化与附着力
原子能级活化
除了简单的清洁，脉冲直流偏压还会改变基材材料的能量状态。该过程激活了工具钢的原子能级。
这创造了一个“高活性”的表面环境，使得表面的原子在化学和物理上更能接受结合。
实现铬结合
这种活化的最终目标是确保铬 (Cr) 结合层的牢固。在类金刚石碳 (DLC) 系统中，DLC 层很少能直接与钢良好结合。
脉冲直流偏压确保钢材足够活泼，能够与铬中间层形成牢固、永久的连接，然后由铬中间层固定最终的 DLC 涂层。
能量控制的必要性
参数为何重要
参考资料特别提到了650 V 和 240 KHz等参数，强调这是一个精密控制的过程。
这里的“权衡”是在被动暴露和主动轰击之间；仅仅将钢材暴露在氩气中而没有这种特定的脉冲偏压，将无法产生所需的“高活性”表面。
低能量的风险
如果偏压不足或不存在，基材的原子能级将保持较低水平。
这将使表面处于被动状态，很可能导致铬层附着力减弱，并最终导致整个 DLC 涂层系统脱层。
为您的目标做出正确选择
为了确保您的 DLC 涂层的耐用性，您必须将离子刻蚀阶段视为一个对附着力至关重要的过程，而不仅仅是清洁步骤。
- 如果您的主要关注点是附着力保证：确保您的工艺参数（电压/频率）设置得足够高，以实现原子活化，而不仅仅是视觉清洁。
- 如果您的主要关注点是工艺稳定性：监控脉冲直流偏压输出的一致性（例如，保持 650 V），以保证基材能够均匀地为铬层做好准备。
总结：脉冲直流偏压是将无活性的钢材表面转化为能够固定铬结合层的高活性、易接受基础的特定机制。
总结表：
| 阶段 | 功能 | 物理效应 | 目标 |
|---|---|---|---|
| 离子轰击 | 驱动氩离子 | 高动能撞击 | 去除残留氧化皮 |
| 表面活化 | 原子能级转移 | 转变为“高活性”状态 | 为结合做准备基材 |
| 界面结合 | 参数控制 | 650 V @ 240 KHz 精密控制 | 铬 (Cr) 层的牢固附着 |
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